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第二百四十四章 举国之力的产物

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  七月初,海湾科技再一次给徐申学报喜,说是已经研发出来了DUV干式光刻机的样机,正准备进行第一次开机测试。

得到这个消息后,徐申学推掉了其他的行程,当天就去了海湾科技。

抵达海湾科技后,王道林一脸喜色的带着徐申学参观了他们最新的研发成果:一台完全自研的DUV干式光刻机。

“从光源系统到物镜,再到机台等所有的子系统整合以及部分关键零部件,都是由仙女山控股旗下或柳河投资,智云科技旗下的兄弟公司所提供,此外这些子系统的背后所需要的众多零部件,除了我们自家的兄弟公司外,还有其他超过一千多家国内企业供应。”

“参与这个项目研发的企业数量,直接或间接达到了接近两千家,各类研究所一百多家,还有十多所著名高校也都参与了进来!”

王道林说着的时候,激动中更带着感叹:“这可是真正的举国之力才能搞出来的顶级设备啊!”

“我们硬是靠着一家之力,做到了整个欧美日韩整个西方体系整合起来才能做到的事情,这难度,比单纯研发一个光刻机更难。”

“如果是依托全球产业链,搞这东西虽然技术难度很高,但是我们要做的也只是系统整合工作而已,难度虽然有,但是不至于有什么代差,给我们ASML的零部件供应商,我都敢放话,最多一年时间就能够弄出来DUV浸润式光刻机甚至进军EUV光刻机!”

“但是我们没有这些全球范围的供应商啊,所以很多东西都只能自己在国内找,实在找不到就只能自己从头研发!”

“DUV光刻机的全部国产化,其难度大的惊人!”

“很多东西都要从原材料开始研发!”

王道林说着的时候,一旁的南江科技的研发部门负责人曹星辰也是接上了话头:“不错!”

“我们公司是搞物镜,为了这个DUV光刻机的物镜,我们是从材料到加工工艺,全都是重新搞的!”

“我们南江科技主导,还拉着一大票研究所,合作企业,同时展开了数十个新材料研究项目,挨个测试各种材料并对材料进行针对性的改进。”

“最终花了两年多时间,这才弄出来了堪用的材料!”

“但是弄出来材料还不行,然后还得加工啊!”

“这加工更难!”

曹星辰说的时候,也是回想起来了之前的研发困境,不由得感叹:“光刻机所需要的镜片精度是非常高的,通常需


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