陈平放的目光落在坑底那片平整的混凝土上。
“开始吧。”
他话音刚落,刺耳的蜂鸣声就响了。等离子切割机喷出蓝白色高温火焰,准确的切向那层混凝土。
滋啦——
火花四溅,空气里飘着一股金属和石头烧焦的味道。
时间一分一秒的过去。
切割比想的还难。混凝土里的合金熔点很高,切割机换了三个喷嘴,才在上面切开一个两米见方的口子。
一台小起重机开过来,吊钩准确的扣住那块切开的混凝土。
“起!”
随着蒋帆下令,钢缆绷紧,起重机发出一阵闷响。几吨重的混凝土块被一点一点吊起来,露出了下面黑漆漆的洞口。
一股白气从缺口喷了出来。
“全体后退,检测气体成分!”蒋帆马上命令道。
一个技术员拿着检测仪冲上去,几秒后,他在通讯频道里报告:“是高纯度惰性气体,没毒,没放射性。”
大家这才松了口气。
用惰性气体填充,能隔绝空气和湿气,保护里面的精密设备。对方想得很周到。
大鼓风机开始往坑里换气。十几分钟后,蒋帆带头,顺着金属梯子第一个爬了下去。
陈平放跟在后面。
地下的空间很大,有半个篮球场那么大。四面墙壁都是光滑的金属,在探照灯下反着冷光。
空间正中,静静的躺着一个大家伙。
它被厚厚的防静电真空薄膜包着,只能看到一个大概的轮廓。很多粗大的线缆和管道,从它身上连到四周墙上的接口。
就算隔着薄膜,也能感觉到这台精密设备带来的压力。
蒋帆的呼吸有点急,他小心翼翼的走上前,用特制的刀片划开薄膜。
“嘶——”
真空被破坏的声音响了起来。
薄膜被完全揭开,露出里面设备的样子时,在场的所有技术员都倒吸了一口凉气。
那台设备已经被拆得乱七八糟。
外壳被拆开,露出里面密密麻麻的线路和结构。几个关键的位置都空了,只剩下一些被切断的接口。
“EUV光源系统……被拆走了。”蒋帆的声音在发抖,他小心的摸着一个空基座,“还有这里,蔡司的反射镜组……这里是工件台……都没了……”
他的脸色变得惨白。
“他们在拆解设备,把光刻机最关键
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