三天后的清晨,沪上浦东国际机场的国际到达口,人流熙攘。
黄江北没有声张,只带着科创园管委会主任和第三代半导体项目技术负责人,一身便装站在出口旁的等候区。手里攥着的纸条上,只写着一行字:张远方,硅谷碳化硅衬底研发团队核心成员,主攻外延层生长工艺。
时针指向八点半,一个穿着灰色冲锋衣、背着双肩包的身影,随着人流缓缓走了出来。男人约莫三十出头,面容清瘦,眼神里带着几分疲惫,却难掩精光。他四下张望了一圈,目光落在黄江北几人身上——管委会主任昨天刚和他通过视频电话。
“张博士,一路辛苦。”黄江北率先迎了上去,主动伸出手。
张远方愣了一下,显然没料到会是市长亲自来接。他连忙握住黄江北的手,有些局促地笑了笑:“黄市长,您太客气了,这怎么好意思。”
“你是沪上要请的贵客,我来接你,应该的。”黄江北拍了拍他的肩膀,语气亲切,“先去吃点早饭,还是直接去科创园看看?”
“直接去园区吧,我等不及想看看实验室了。”张远方的眼睛亮了亮,话音里带着一丝急切。
车子平稳地驶往科创园,一路畅通。张远方靠在车窗边,望着窗外飞速掠过的高楼和绿化带,眼神里满是感慨。
“五年没回来了,沪上变化真大。”他轻声说道。
“变化快,是因为发展的步子没停。”黄江北接过话头,“但我们也有短板,比如第三代半导体的外延工艺,一直是卡在脖子上的难题。这次请你回来,就是想让你看看,沪上有决心,也有底气,把这个难题啃下来。”
张远方点了点头,从背包里掏出一个平板电脑,递到黄江北面前:“这是我团队做的一些实验数据,还有工艺改进的思路。在硅谷,受限于设备和成本,很多想法没法落地。我听说沪上的实验室,已经引进了国内最先进的碳化硅晶圆切割设备?”
“不仅有切割设备,还有全套的外延生长系统。”技术负责人接过话,语气里满是自豪,“而且我们和上游的材料厂商签了协议,能稳定供应高纯度的碳化硅衬底。你需要的设备,我们都有;你缺的条件,我们能补。”
张远方的脸上,露出了明显的喜色。
车子驶入科创园,径直开到了第三代半导体项目的实验大楼前。楼前的空地上,安全督查专班的工作人员正在对进出人员进行登记核查,每一个进入实验室的人,都要出示证件,接受安全培训考核。
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